우리는 방금 생산했습니다. 높은 열전도율 알루미늄 질화물 세라믹 에 대한 대면적 쿨러. 일체형 구조로 이루어진 질화알루미늄(AlN) 소성 후 기밀성이 높아 외부 압력이 높은 용도에 적합합니다.장점 AlN 세라믹 대면적 액체 냉각기의 경우 모놀리식 방열판 설계가 세라믹에서 냉각수로 탁월한 열 전달을 제공하고 두 냉각 연결부가 두 개의 씰 링이 삽입된 동일한 면에 있다는 점입니다.따라서 당사의 대면적 액체 냉각기용 AlN 세라믹은 대면적의 효과적인 냉각이 필요한 응용 분야에 매우 적합합니다.
우리는 생산했다 알루미늄 질화물 세라믹 장비 슬롯형 디스크 반도체 제조용.반도체 제조 공정에는 플라즈마가 생성되는 가혹한 환경이 포함됩니다. 그러므로, 질화알루미늄(AlN) 세라믹 플라즈마 저항성이 우수하여 반도체 제조에 더 적합합니다. 더욱이, 반도체 제조에서는 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 사용하여 웨이퍼에 고품질 필름을 배치합니다. 증착 챔버와 웨이퍼 처리 도구에는 이러한 까다로운 환경을 견딜 수 있는 내구성 있는 세라믹 부품이 필요합니다. 질화알루미늄 세라믹 슬롯형 디스크 반도체 산업에 적합합니다.