우리는 방금 생산 높은 열 전도성 알루미늄 질화물 세라믹 ~을 위해 대면적 냉각기. 로 이루어진 일체형 구조 질화알루미늄(AlN) 소성 후 밀폐되어 외부 압력이 높은 응용 분야에 적합합니다.의 장점 AlN 세라믹 대면적 액체 냉각기의 경우 모놀리식 방열판 설계가 세라믹에서 냉각수로 우수한 열 전달을 제공하고 두 냉각 연결부가 같은 쪽에 있으며 두 개의 밀봉 링이 삽입되어 있습니다.따라서 당사의 대면적 액체 냉각기용 AlN 세라믹은 넓은 면적의 효과적인 냉각이 필요한 응용 분야에 매우 적합합니다.
우리는 생산 알루미늄 질화물 세라믹 장비 슬롯 디스크 반도체 제조용.반도체 제조 공정에는 플라즈마가 발생하는 열악한 환경이 포함됩니다. 따라서, 질화알루미늄(AlN) 세라믹 우수한 플라즈마 저항으로 반도체 제조에 더 적합합니다. 또한 반도체 제조에서는 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 사용하여 웨이퍼에 고품질 필름을 배치합니다. 증착 챔버 및 웨이퍼 처리 도구는 이러한 까다로운 환경을 견딜 수 있는 내구성 있는 세라믹 구성 요소가 필요하므로 알루미늄 질화물 세라믹 슬롯 디스크 반도체 산업에 적합합니다.