우리는 생산했다 알루미늄 질화물 세라믹 장비 슬롯형 디스크 반도체 제조용.반도체 제조 공정에는 플라즈마가 생성되는 가혹한 환경이 포함됩니다. 그러므로, 질화알루미늄(AlN) 세라믹 플라즈마 저항성이 우수하여 반도체 제조에 더 적합합니다. 더욱이, 반도체 제조에서는 휘발성 전구체 가스, 플라즈마 및 고온의 조합을 사용하여 웨이퍼에 고품질 필름을 배치합니다. 증착 챔버와 웨이퍼 처리 도구에는 이러한 까다로운 환경을 견딜 수 있는 내구성 있는 세라믹 부품이 필요합니다. 질화알루미늄 세라믹 슬롯형 디스크 반도체 산업에 적합합니다.