지속적인 혁신으로 질화알루미늄 파인 세라믹스의 새로운 길을 선도하다

최근 전자패키징용 질화알루미늄 세라믹 기판이 화제가 되고 있다. 중국에는 이 분야에서 국제 선진 수준에 도달하고 해외에서 좋은 매출을 올린 뛰어난 기업이 많이 있습니다. 그러나 질화알루미늄 세라믹에 대한 응용은 여전히 개발 중이며 우리는 하드 핵심 영역을 탐색하고 돌파해야 합니다. 반도체 산업을 예로 들면, 반도체 제조 장비는 규모가 커지고 정밀화, 복잡화 현상이 계속되고 있습니다. 반도체 생산 장비의 핵심 부품인 Fine Ceramics의 R&D 및 생산은 전체 산업 체인을 포함하여 장비 제조 산업에 직접적인 영향을 미칩니다. 고순도 질화알루미늄 세라믹은 내열성이 우수하고 전도성과 절연성이 우수하여 웨이퍼 가열히터, 정전척 등에 적용이 가능합니다. 이러한 제품은 CTE 데이터가 실리콘에 가깝기 때문에 플라즈마 저항성이 뛰어납니다. 또한, AlN Fine Ceramics는 항공, 철도, 신에너지 자동차, 고출력 LED, 5G 통신, 전기운송, 산업제어 등의 분야에서 핵심장비 부품으로서 대체할 수 없는 역할을 하고 있습니다.

▲질화알루미늄 파인 세라믹스

AlN 세라믹의 국내 기업에 관해서라면, 선도적인 알루미늄 질화물 세라믹 기판 공급업체인 Fujian Huaqing Electronic Material Technology Co., Ltd.를 언급해야 합니다. 2004년에 설립된 당사는 다년간의 산업화 R&D, 생산 개선 및 시장 검증을 통해 중국 최초로 주조 방식을 사용하여 고급 AlN 세라믹 기판을 대규모로 생산하는 기업이 되었습니다. 화청전자재료는 칭화대학교 신도자기 및 정밀가공 국가중점연구소의 과학연구 결과를 소개하며 독창성과 우선권을 갖고 있으며 80개의 특허를 보유하여 국내 업계의 격차를 메우고 있습니다. 현재 Huaqing의 질화알루미늄 세라믹 기판은 국내 생산 및 판매 1위를 차지하고 있습니다.

최근 우리 회사는 신제품 사업인 질화알루미늄 파인 세라믹스 분야에 노력과 자원을 쏟고 있습니다.

지난 2년 동안 Huaqing은 인재 도입을 가속화하여 10명 이상의 의사, 석사, 40명 이상의 학부 인재를 도입하여 기술 연구를 크게 강화하고 역량을 개발했습니다. R&D 장비에 대한 투자가 증가함에 따라 Huaqing은 이제 국제 첨단 세라믹 생산, 가공 및 테스트 장치를 갖추고 있으며 테이프 캐스팅, 사출 성형, 건식 프레싱, 냉간 등방압 프레싱 및 온간 등방압을 위한 첨단 장비 및 기술의 전체 세트를 보유하고 있습니다. 지금까지 Huaqing은 고객의 기대를 뛰어넘는 제품과 서비스를 지속적으로 제공하기 위해 분말 준비, 성형, 소결 및 기계 가공의 수직적 통합을 달성했습니다. 한편, 우리는 고객에게 맞춤형 개발과 신속한 분석 서비스를 제공할 수 있는 독립적인 실험실과 테스트 센터를 보유하고 있습니다.

Fine Ceramics는 Huaqing Electronic Material이 추진하는 핵심 프로젝트입니다. 파인세라믹은 반도체 제조장비, 의료, 광학, 자동차, 정밀기기 등 폭넓은 분야에 걸쳐 고성능, 정밀성을 갖춘 세라믹으로 사업분야 및 첨단화를 더욱 확대하는데 도움을 줍니다.

AlN 산업에서 수년간의 기술 축적 끝에 Huaqing은 AlN Fine Ceramics 분야에서 새로운 트랙을 개발했습니다. 현재 국내 대부분의 AlN 세라믹의 치수 정밀도는 여전히 치수 공차 0.05mm, 평탄도 0.02mm, 표면 거칠기 0.6 수준을 유지하고 있습니다.μ중. 그러나 Huaqing은 해외 고객을 위해 외부 치수 공차 5의 제품과 같이 보다 정밀한 미크론 수준의 AlN 세라믹 제품을 제공하기 시작했습니다.μm, 내부 5μm, 원통형 각도 3μm, 평탄도 3μm, 거칠기는 20nm입니다.

▲질화알루미늄 파인 세라믹스 

반도체 제조 장비에 사용되는 질화알루미늄 세라믹 발열판을 교세라 등 소수의 외국 기업만이 생산할 수 있다는 점은 언급할 가치가 있으며, 이제 Huaqing도 획기적인 발전을 이루었습니다. 공정 챔버에서 웨이퍼를 가열하기 위한 이러한 종류의 가열 플레이트는 높은 전도성과 플라즈마 독립성을 가지며 매우 높은 제품 순도를 요구합니다. 그리고 분말부터 후가공까지의 공정이 엄격하게 통제됩니다.

▲질화알루미늄 세라믹 가열판

Huaqing에서 생산하는 질화알루미늄 가열판은 고객의 요구에 따라 크기 또는 특수한 형태의 제품을 맞춤화할 수 있으며 가열 및 냉각을 빠르게 실현할 수 있습니다. 주사형 전자현미경을 통해 질화알루미늄 세라믹은 입자 크기가 균일하고 온도차 없이 열균일 분포를 이룬다는 것을 알 수 있습니다. 반도체 장비의 핵심 핵심 부품(PVD, CVD, ETCH, 프로세서)에 적용 가능합니다.

▲핵심 사업

AlN 세라믹 기판이든 파인 세라믹이든 중국의 기술 및 시장 초기 단계에 있는 새로운 산업입니다. 업계의 기술장벽이 높고, 외국기업이 오랫동안 독점을 했기 때문에 돌파가 어렵다. 약 20년 동안 화칭의 선구적인 길에 투자한 비용과 에너지는 헤아릴 수 없을 정도로 많습니다. 항상 선두에 선 선구자가 되려면 큰 결단력이 필요하기 때문입니다. 그러나 책임감을 갖고 항상 자신의 역량 강화를 최우선으로 생각하는 기업만이 오늘의 성과를 이룰 수 있습니다.

앞으로도 화칭은 “본심을 지키라. 좋은 소재를 개발하라” 강한 의지와 개척 정신으로 중국 질화알루미늄 세라믹 산업의 고품질 발전을 계속 주도하고 있습니다. 전자세라믹재료 분야의 세계적인 공급업체로 발전하기 위해 끊임없는 노력을 기울이고 있습니다.

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