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알루미늄 질화물 세라믹 기판
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반도체용 알루미늄 질화물 세라믹 정전척

AlN semiconductor

반도체용 알루미늄 질화물 세라믹 정전척

당사의 질화알루미늄은 산화, 화학적 침식, 열충격, 기계적 강도, 낮은 유전율, 실리콘 결정과 유사한 열팽창 계수, 높은 열전도도에 대한 우수한 저항성을 가지고 있습니다.

제품 세부 정보:

  1. 재료: 질화 알루미늄.
  2. 기능: 절연 및 방열.
  3. 색상: 회색.
  4. 유형: 세라믹.
  5. 맞춤형 제작 가능:예, 특정 제품의 도면을 제공해 주세요.

반도체용 알루미늄 질화물 세라믹 정전척

제품 설명:

현대 반도체 제조 공정에서 웨이퍼는 여러 단계로 처리되며, 웨이퍼는 수백 개의 공정 장비 사이를 오가며 이송되어야 합니다. 따라서 웨이퍼 클램핑을 위한 장치가 필요합니다. 정전척은 정전 흡수로 웨이퍼를 고정할 수 있으며, 흡수력은 균일하고 안정적이며, 웨이퍼는 휘거나 변형되지 않아 웨이퍼의 처리 정확도와 청결성을 보장할 수 있습니다.

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우리의 서비스:

당사의 알루미늄 질화물 기판은 다양한 크기와 두께로 제공됩니다.

사양:

치수(길이x폭)φ110*110mm
두께5mm 등
열전도도170W/mK
유전율8-9(MHz)
벌크 밀도3.3g/cm³
표면 거칠기라 < 양쪽 모두 0.6 μm

회사의 이점:

화칭은 2004년에 설립되었으며, 총 투자액은 8,000만 위안, 등록 자본금은 4,000만 위안입니다. 화칭의 AlN & Al2O3 세라믹 제품은 업계의 다른 공장과 비교하여 높은 열전도도, 낮은 유전율, 좋은 소산 계수 및 우수한 기계적 특성을 가지고 있습니다. AlN & Al2O3 세라믹은 HBLED, 광통신, IGBT, 전력 장치, TEC 및 기타 하이엔드 애플리케이션에 널리 사용됩니다.

워크숍 및 장비:

포장 및 배송:
UPS, DHL, Fedex 등을 통해 배송합니다.

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