당사의 질화알루미늄은 산화, 화학적 침식, 열충격, 기계적 강도, 낮은 유전율, 실리콘 결정과 유사한 열팽창 계수, 높은 열전도도에 대한 우수한 저항성을 가지고 있습니다.
제품 세부 정보:
반도체용 알루미늄 질화물 세라믹 정전척
제품 설명:
현대 반도체 제조 공정에서 웨이퍼는 여러 단계로 처리되며, 웨이퍼는 수백 개의 공정 장비 사이를 오가며 이송되어야 합니다. 따라서 웨이퍼 클램핑을 위한 장치가 필요합니다. 정전척은 정전 흡수로 웨이퍼를 고정할 수 있으며, 흡수력은 균일하고 안정적이며, 웨이퍼는 휘거나 변형되지 않아 웨이퍼의 처리 정확도와 청결성을 보장할 수 있습니다.
우리의 서비스:
당사의 알루미늄 질화물 기판은 다양한 크기와 두께로 제공됩니다.
사양:
치수(길이x폭) | φ110*110mm |
두께 | 5mm 등 |
열전도도 | 170W/mK |
유전율 | 8-9(MHz) |
벌크 밀도 | 3.3g/cm³ |
표면 거칠기 | 라 < 양쪽 모두 0.6 μm |
회사의 이점:
화칭은 2004년에 설립되었으며, 총 투자액은 8,000만 위안, 등록 자본금은 4,000만 위안입니다. 화칭의 AlN & Al2O3 세라믹 제품은 업계의 다른 공장과 비교하여 높은 열전도도, 낮은 유전율, 좋은 소산 계수 및 우수한 기계적 특성을 가지고 있습니다. AlN & Al2O3 세라믹은 HBLED, 광통신, IGBT, 전력 장치, TEC 및 기타 하이엔드 애플리케이션에 널리 사용됩니다.
워크숍 및 장비:
포장 및 배송:
UPS, DHL, Fedex 등을 통해 배송합니다.
우리 서비스가 필요한 이유는 프로젝트가 제대로 수행되고 기능하는지 확인할 수 있는 전문 지식과 경험을 갖춘 고도로 자격을 갖춘 전문가를 확보하고 있다는 것입니다.
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