당사의 질화알루미늄은 산화, 화학적 공격, 열충격, 기계적 강도, 낮은 유전 상수, 실리콘 결정과 유사한 열팽창 계수 및 높은 열전도율에 대한 우수한 저항성을 갖고 있습니다.
제품 세부사항:
반도체용 질화알루미늄 세라믹 정전척
제품 설명:
현대의 반도체 제조 공정에서 웨이퍼는 여러 단계로 처리되며 웨이퍼는 수백 개의 공정 장비 사이를 오가며 이동해야 합니다. 따라서 웨이퍼 클램핑을 위한 장치가 필요합니다. 정전 척은 정전 흡착으로 웨이퍼를 고정할 수 있으며, 흡착력은 균일하고 안정적이며, 웨이퍼가 휘거나 변형되지 않아 웨이퍼의 가공 정확성과 청결을 보장할 수 있습니다.
우리의 서비스:
당사의 질화알루미늄 기판은 다양한 크기와 두께로 제공됩니다.
사양:
| 크기(LxW) | Ø110*110mm |
| 두께 | 5mm 등 |
| 열전도율 | 170W/m.K |
| 유전 상수 | 8~9(MHz) |
| 벌크 밀도 | 3.3g/cm3 |
| 표면 거칠기 | 라 < 양면 0.6μm |
회사 이점:
Huaqing은 2004년에 설립되었으며 총 투자액은 8천만 위안, 등록 자본금은 4천만 위안입니다. Huaqing의 AlN 및 Al2O3 세라믹 제품은 업계의 다른 공장에 비해 높은 열전도율, 낮은 유전 상수, 우수한 소산 계수 및 우수한 기계적 특성을 가지고 있습니다. AlN 및 Al2O3 세라믹은 HBLED, 광통신, IGBT, 전력 장치, TEC 및 기타 고급 애플리케이션에 널리 사용됩니다.
작업장 및 장비:
포장 및 배송:
UPS,DHL,Fedex 등으로 배송하세요.
당사의 질화알루미늄은 산화, 화학적 공격, 열충격, 기계적 강도, 낮은 유전 상수, 실리콘 결정과 유사한 열팽창 계수 및 높은 열전도율에 대한 우수한 저항성을 갖고 있습니다.제품 세부사항:재질: 질화알루미늄.Fuction: 절연 및 열 분산.색상: 회색.유형: 세라믹.사용자 정의 가능: 예, 특정 제품의 도면을 제공하십시오.
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